Ngày 15 tháng 6 năm 1999, thị trấn Ma Lâm thuộc huyện Hàm Thuận Bắc được thành lập trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của xã Ma Lâm; thị trấn Thuận Nam thuộc huyện Hàm Thuận Nam được thành lập trên cơ sở điều chỉnh 2.870,3 ha diện tích tự nhiên và 10.936 nhân khẩu của xã Tân Lập; thị trấn Võ Xu và thị trấn Đức Tài thuộc huyện Đức Linh được thành lập trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của hai xã có tên tương ứng; thị trấn Lạc Tánh thuộc huyện Tánh Linh được thành lập trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của xã Lạc Tánh[7].
Ngày 18 tháng 7 năm 2003, xã Vĩnh Tân thuộc huyện Tuy Phong được thành lập trên cơ sở 5.908 ha diện tích tự nhiên và 4.397 nhân khẩu của xã Vĩnh Hảo; xã Sông Bình thuộc huyện Bắc Bình được thành lập trên cơ sở 5.665,29 ha diện tích tự nhiên và 3.132 nhân khẩu của xã Sông Lũy và 803,99 ha diện tích tự nhiên của xã Lương Sơn; thị trấn Phú Long thuộc huyện Hàm Thuận Bắc được thành lập trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của xã Hàm Nhơn.[10].
Ngày 3 tháng 12 năm 2007, thị trấn Lương Sơn thuộc huyện Bắc Bình được thành lập trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của xã Lương Sơn; xã Thắng Hải thuộc huyện Hàm Tân được thành lập trên cơ sở điều chỉnh 9.898 ha diện tích tự nhiên và 6.062 nhân khẩu của xã Tân Thắng; thị trấn Tân Nghĩa thuộc huyện Hàm Tân được thành lập trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của xã Tân Nghĩa[13].
